[发明专利]快速分离衬底与外延层的方法无效
| 申请号： | 201110157417.5 | 申请日： | 2011-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN102299214A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 成诗恕 | 申请（专利权）人： | 协鑫光电科技（张家港）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;姜精斌 |
| 地址： | 215600 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速分离衬底与外延层的方法，包括：取一发光二极管，该发光二极管的衬底与外延层之间具有一薄层的可移除材料，该薄层的可移除材料具有低熔点或是可分解的材料特性；对上述发光二极管的可移除材料施加能量，例如热能，使得薄层的可移除材料可以熔化、气化、分解或解离，进而使蓝宝石衬底与外延层分离。在本发明中，因所述的薄层的可移除材料形成于外延层与蓝宝石衬底之间，且其可通过物理或化学方式加以移除，所以本发明可在操作简便的条件下将衬底移除，比如仅使用加热方式就可以将衬底移除，所以成本低廉，具有市场竞争性。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 分离 衬底 外延 方法 | ||
【主权项】：
一种快速分离衬底与外延层的方法，其特征在于，包括：取一发光二极管，该发光二极管的衬底与外延层之间具有一个薄层的可移除材料；对该薄层的可移除材料施加能量，使得该薄层的可移除材料的状态产生变化；通过可移除材料状态变化，使得衬底与外延层不再结合，进而使得该衬底与该外延层分离。
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