[发明专利]多晶硅还原炉有效
| 申请号： | 201110158979.1 | 申请日： | 2011-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN102249241A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 茅陆荣;程佳彪;黄小华;周积卫;张华芹;吴海龙 | 申请（专利权）人： | 上海森松新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人： | 马育麟 |
| 地址： | 201323 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明多晶硅还原炉，主要由底盘、炉体、电极、混合气进气管、混合气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管及硅棒组成。本发明因混合气进气管均设置在由电极组成的正多边形的中心，使得工艺气体能够均匀的扩散到位于多边形顶点的硅棒表面上。电极采用正多边形分布，各电极之间互相辐射的能量基本持平，硅棒之间互相吸收散失的能量，硅棒的温度更容易得到维持与控制。由于硅棒互相吸收热辐射，平均每根硅棒被炉体内表面吸收的热辐射大大减少，由于电极数量增加到36对，单台还原炉的产量也大幅度提升。每公斤多晶硅的电耗大大降低，多晶硅的综合生产成本和能耗也相应降低。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 | ||
【主权项】：
多晶硅还原炉，包括炉体和底盘、混合气进气管、混合气出气管及硅棒，其特征在于，所述底盘上设有电极，所述电极以正多边形方式排列，所述电极上连接有所述硅棒。
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