[发明专利]一种含硫双咪唑啉类二氧化碳缓蚀剂及其制备方法无效
| 申请号： | 201110159032.2 | 申请日： | 2011-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN102321463A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 黄金营;路民旭;柳伟;吴伟平 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | C09K8/54 | 分类号： | C09K8/54;C07D233/16 |
| 代理公司： | 北京东方汇众知识产权代理事务所(普通合伙) 11296 | 代理人： | 刘淑芬 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明一种含硫双咪唑啉类二氧化碳缓蚀剂及其制备方法，该缓蚀剂的各组分的质量百分比为：含硫双咪唑啉季铵盐20－50重量％；非离子表面活性剂1－5重量％；低分子醇溶剂40－70重量％；炔醇5－10重量％；其中，含硫双咪唑啉化合物具有如下结构通式： |
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| 搜索关键词： | 一种 含硫双 咪唑 二氧化碳 缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种含硫双咪唑啉类二氧化碳缓蚀剂，其特征在于，该缓蚀剂的各组分的质量百分比为： 含硫双咪唑啉季铵盐20－50重量％；非离子表面活性剂1－5重量％；低分子醇溶剂40－70重量％；炔醇5－10重量％；其中，含硫双咪唑啉化合物具有如下结构通式：![]()
式中的R中碳原子数量为5或8。
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