[发明专利]蓝宝石晶片的分割方法

摘要

本发明提供蓝宝石晶片的分割方法，能够对形成有反射膜的蓝宝石晶片进行确切的分割加工。从蓝宝石晶片(1)的背面侧沿着分割预定线，向蓝宝石晶片(1)的内部会聚地照射透射过蓝宝石的波长的脉冲激光，在内部形成改质层(30)，之后，在蓝宝石晶片(1)的背面侧形成反射膜(31)，之后，对改质层(30)施加外力，由此沿着分割预定线分割蓝宝石晶片(1)。

主权项

一种蓝宝石晶片的分割方法，该分割方法沿着分割预定线对蓝宝石晶片进行分割，该蓝宝石晶片在正面的由该分割预定线划分出的区域中形成有多个发光器件，且在背面层叠有对所述发光器件发出的光进行反射的反射膜，该分割方法的特征在于，包括以下工序：改质层形成工序，在该蓝宝石晶片上层叠该反射膜之前，从该蓝宝石晶片的背面侧沿着该分割预定线，使透射过蓝宝石的波长的脉冲激光会聚地照射到该蓝宝石晶片的内部，在该蓝宝石晶片的内部沿着该分割预定线形成改质层；层叠工序，在该改质层形成工序之后，在已沿着该分割预定线形成了该改质层后的该蓝宝石晶片的背面，层叠该反射膜；分割工序，在该层叠工序之后，对该改质层施加外力，由此沿着该分割预定线对该蓝宝石晶片和该反射膜进行分割。