[发明专利]化合物、含有该化合物的聚合物及包含该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供了一种化合物、含有该化合物的聚合物及包含该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物，还提供了由下式(1)代表的化合物和含有该化合物作为单体的聚合物。[式1]其中在式(1)中，R₁₁、Q₁、Q₂和A+的定义如说明书中所述。当该化合物和含有该化合物作为单体的聚合物用在化学放大型抗蚀剂组合物中时，这种抗蚀剂组合物具有优异的灵敏度和较高的稳定性同时气体排放量减少，并且还具有较高的分辨率和较低的线边缘粗糙度。

主权项

1.一种由下式(1)代表的化合物：[式1]其中在式(1)中，R₁₁代表选自氢原子、具有1～10个碳原子的烷基、具有1～10个碳原子的全氟烷基和具有1～10个碳原子的烷氧基中的任一种；Q₁和Q₂各自独立地代表选自氢原子和卤素原子中的任一种；和A+代表有机抗衡离子。