[发明专利]零位传感器的调节定位装置及其调节定位方法有效
| 申请号： | 201110165131.1 | 申请日： | 2011-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN102829717A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 王凯 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种零位传感器的调节定位装置及其调节定位方法。所述调节定位装置包括底座；所述XY位移平台包括底层、顶层以及贯穿所述底层、顶层的通孔，所述XY位移平台的底层固定于所述底座；所述转接板包括通孔，所述转接板的一侧固定于所述XY位移平台的顶层，所述转接板的另一侧与所述零位传感器的基座固定连接；所述凸台依次穿过所述XY位移平台的通孔和所述转接板的通孔，与所述零位传感器的调节板固定连接；所述零位传感器的调节板和基座之间的位移随所述XY位移平台的底层和顶层之间的位移而调整。本发明的调节定位装置及其调节定位方法能够用于高精度零位传感器的定位。 | ||
| 搜索关键词： | 零位 传感器 调节 定位 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种零位传感器的调节定位装置，其特征在于，包括底座，所述底座包括凸台；XY位移平台，所述XY位移平台包括底层、顶层以及贯穿所述底层、顶层的通孔，所述XY位移平台的底层固定于所述底座；转接板，所述转接板包括通孔，所述转接板的一侧固定于所述XY位移平台的顶层，所述转接板的另一侧与所述零位传感器的基座固定连接；所述凸台依次穿过所述XY位移平台的通孔和所述转接板的通孔，与所述零位传感器的调节板固定连接；所述零位传感器的调节板和基座之间的位移随所述XY位移平台的底层和顶层之间的位移而调整。
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