[发明专利]一种金属有机物化学气相沉积设备的热吹扫结构

摘要

本发明涉及一种金属有机物化学气相沉积设备的热吹扫结构，包括反应腔、设置在反应腔内的载盘、支撑载盘的载盘支撑、设置在载盘下侧的加热体、在加热体下侧设置的热屏蔽层、接入吹扫气体的进气通路、以及排出吹扫气体的出气通路。加热体设置在热屏蔽层与载盘底部之间的加热空间内；进气通路接入吹扫气体送至加热空间后，并沿水平方向扩散后经出气通路排出。吹扫气体从进气通路直接进入加热空间，并沿水平方向扩散后，经出气通路排出，吹扫气体较易覆盖整个加热体，从而达到对加热体的有效保护，并且吹扫气体在加热体上的流动有利于载盘的温度均匀性的提高，而且对于整个工艺制成结束后，有效地缩短了降温时间，提高了效率，降低了成本。

主权项

一种金属有机物化学气相沉积设备的热吹扫结构，包括反应腔、设置在所述反应腔内的载盘、支撑所述载盘的载盘支撑、以及设置在所述载盘下侧的加热体；其特征在于，还包括在所述加热体下侧设置的热屏蔽层、接入吹扫气体的进气通路、以及排出吹扫气体的出气通路；所述加热体设置在所述热屏蔽层与所述载盘底部之间的加热空间内；所述进气通路接入吹扫气体送至所述加热空间后，并沿水平方向扩散后经所述出气通路排出。