[发明专利]一种用于硅片切割的切割线无效
申请号: | 201110166583.1 | 申请日: | 2011-06-20 |
公开(公告)号: | CN102328351A | 公开(公告)日: | 2012-01-25 |
发明(设计)人: | 聂金根 | 申请(专利权)人: | 镇江市港南电子有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 季萍 |
地址: | 212132 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种用于硅片切割的切割线,包括线体,其中,所述线体外周面上均匀固定设有磨料,所述磨料由金刚砂、三氧化二铬及碳化硅组成,金刚砂、三氧化二铬及碳化硅的颗粒度均为18um;本发明可同时切割多片硅片,出品率高,硅片表面质量较高,不容易出现崩片的现象,不仅解决的硅片材料的浪费问题,而且解决了切割线容易磨损,使用寿命短的问题,且本发明方便冷却液的冷却,避免砂浆对环境造成污染,提高了环保性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 硅片 切割 | ||
【主权项】:
一种用于硅片切割的切割线,包括线体,其特征在于,所述线体外周面上均匀固定设有磨料,所述磨料由金刚砂、三氧化二铬及碳化硅组成,金刚砂、三氧化二铬及碳化硅的颗粒度均为18um;该磨料中各组份所占的重量份数为:金刚砂为30‑55份;三氧化二铬为5‑15份;碳化硅为8‑16份。
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