[发明专利]一种钴酸锂靶材及其制备方法无效
申请号: | 201110167921.3 | 申请日: | 2011-06-22 |
公开(公告)号: | CN102181840A | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
发明(设计)人: | 钟小亮;王树森;王广欣 | 申请(专利权)人: | 苏州晶纯新材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/06;C04B35/01;C04B35/622 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 汪青 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种钴酸锂靶材及其制备方法,该靶材的纯度大于等于99.9%、相对密度大于等于98%、平均晶粒尺寸小于等于50微米。该靶材制备方法包括以下步骤:(1)提供钴酸锂粉末,并将其液压成型为坯件;(2)对所述的坯件进行冷等静压加工;(3)将经过步骤(2)的坯件置于炉中进行烧结,烧结过程采用了多阶段升温加压的方式。按照本发明方法制备的钴酸锂靶材,其晶粒尺寸细小且致密度高。在适当条件下,溅射这些靶材能获得性能优良的薄膜,从而提高全固态薄膜锂离子电池的储能量和循环次数。 | ||
搜索关键词: | 一种 钴酸锂靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种钴酸锂靶材,其特征在于:所述钴酸锂靶材的纯度大于等于99.9%、相对密度大于等于98%、平均晶粒尺寸小于等于50微米。
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