[发明专利]合成物方表面的全数值孔径图的方法有效
| 申请号： | 201110170847.0 | 申请日： | 2006-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN102353522A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 保罗.E.墨菲;德拉吉沙.米拉迪诺维克;格雷格.W.福布斯;加里.M.德弗里斯;乔恩.F.弗莱格 | 申请（专利权）人： | QED技术国际股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张祥 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种从表面的多个重叠子孔径数据图合成物方表面的全数值孔径图的方法，包括步骤：选择减小重叠子孔径数据图的测量误差的至少一种方法；从表面的多个区域采集多个子孔径数据图，至少每个子孔径数据图的一部分与至少一个相邻子孔径数据图的一部分重叠，以形成重叠数据区域；将多个重叠子孔径数据图投影到具有标定畸变图的球坐标系统；从由具有自由放大率范围的自由补偿器和具有相同限制放大率的互锁补偿器组成的两组中的至少一组选择多个误差补偿器，以补偿重叠子孔径数据图中的拼接误差；同时通过选择的误差补偿器的线性组合，将重叠子孔径区域中数据图的每一个的不一致最小化。 | ||
| 搜索关键词： | 合成物 表面 数值孔径 方法 | ||
【主权项】：
一种从表面的多个重叠子孔径数据图合成物方表面的全数值孔径图的方法，包括以下步骤：a)选择减小所述重叠子孔径数据图的测量误差的至少一种方法；b)从所述表面的多个区域采集所述多个子孔径数据图，至少每个子孔径数据图的一部分与至少一个相邻子孔径数据图的一部分重叠，以形成重叠数据区域；c)将所述多个重叠子孔径数据图投影到具有标定畸变图的球坐标系统；d)从由具有自由放大率范围的自由补偿器和具有相同限制放大率的互锁补偿器组成的两组中的至少一组选择多个误差补偿器，以补偿所述重叠子孔径数据图中的拼接误差；e)同时通过选择的所述误差补偿器的线性组合，将所述重叠子孔径区域中所述数据图的每一个的不一致最小化。
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