[发明专利]N型直拉硅单晶的工艺方法有效
| 申请号： | 201110171512.0 | 申请日： | 2011-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN102220632A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 高文宽;郭凯;王辉;刘磊 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明;王宝筠 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种N型直拉单晶硅的工艺方法，采用的工艺条件包括：等径过程中的埚转为6-7rpm。通过控制该工艺等径过程中的埚转，有效地降低了生长的硅单晶棒的头部氧含量，提高了其头部的品质，从而提高硅单晶棒的利用率，节约了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 型直拉硅单晶 工艺 方法 | ||
【主权项】：
一种N型直拉硅单晶的工艺方法，其特征在于，在等径初期，采用的工艺条件包括：埚转为6‑7rpm。
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