[发明专利]一种基于二维声子晶体反射栅的声表面波气体传感器

摘要

本发明提供了一种基于二维声子晶体反射栅的声表面波气体传感器，该传感器属于声表面波技术领域的一种新型气体传感器结构。这种基于二维声子晶体反射栅的声表面波气体传感器采用单端谐振器结构，以气敏半导体金属氧化物与空气柱构成的二维声子晶体作为谐振器两端的反射栅，其声子晶体反射栅兼具气敏和反射双重功能，而且二维空气柱声子晶体气体传感器结构具有表面积大、灵敏度高等特点；此外二维声子晶体反射栅相比传统的一维金属条反射栅，不仅反射效率更高，同时也减小了反射栅的尺寸，非常有利于获得高集成度的声表面波气体传感器件。

主权项

一种基于二维声子晶体反射栅的声表面波气体传感器，包括：压电基片、制备在压电基片上的单端叉指电极谐振器以及谐振器两端的二维声子晶体反射栅，其特征在于：所述声表面波气体传感器采用气敏半导体金属氧化物与空气柱构成的二维声子晶体结构作为谐振器两端的反射栅。