[发明专利]在TEM的衍射平面中使用的阻挡部件有效
| 申请号： | 201110172913.8 | 申请日： | 2011-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN102299037A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | B.布伊塞;P.C.蒂梅杰 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘春元;卢江 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在TEM的衍射平面中使用的阻挡部件。本发明涉及将被放置在TEM的衍射平面中的阻挡部件。其类似于用于单边带成像的刀边缘，但是仅阻挡在小角度内偏转的电子。结果，根据本发明的TEM的对比度传递函数将与低频下的单边带显微镜的对比度传递函数和用于高频率的正常显微镜的对比度传递函数相等。优选地，被阻挡部件阻挡的最高频率使得没有阻挡部件的显微镜将显示出0.5的CTF。 | ||
| 搜索关键词： | tem 衍射 平面 使用 阻挡 部件 | ||
【主权项】：
一种用于对样本进行成像的透射电子显微镜（100），所述透射电子显微镜示出其中形成样本的衍射图案（200）的衍射平面（118），所述衍射平面表示傅立叶域中的样本的图像，所述透射电子显微镜包括位于衍射平面中的阻挡部件（119）或其图像，所述阻挡部件阻挡傅立叶域的一部分，所述傅立叶域的被阻挡的部分沿着至少一个方向从低空间频率（1001）延伸至高空间频率（1002），其特征在于被阻挡部件阻挡的最高空间频率低于或等于最低空间频率，其中，在没有阻挡部件的情况下被成像的所述衍射平面的图像显示出约0.5的对比度传递。
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