[发明专利]一种太阳电池P型表面的钝化层的制备方法无效
申请号: | 201110173061.4 | 申请日: | 2011-06-24 |
公开(公告)号: | CN102254990A | 公开(公告)日: | 2011-11-23 |
发明(设计)人: | 王登志;王栩生;章灵军 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯(中国)投资有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 陶海锋;陆金星 |
地址: | 215129 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种太阳电池P型表面的钝化层的制备方法,包括如下步骤:(1)采用真空蒸镀的方法在太阳电池P型表面上制备铝膜;(2)利用阳极氧化法对上述铝膜进行氧化,形成氧化铝;(3)高温退火,即可得到氧化铝钝化层。本发明采用工业上比较成熟的真空蒸铝和阳极氧化法制备得到了P型表面的氧化铝钝化层,操作简单,易于实现,且设备投资少,成本较低,适用于工业化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳电池 表面 钝化 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种太阳电池P型表面的钝化层的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1) 采用真空蒸镀的方法在太阳电池P型表面上制备铝膜;(2) 利用阳极氧化法对上述铝膜进行氧化,形成氧化铝;(3) 高温退火,即可得到氧化铝钝化层。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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