[发明专利]用于对薄层的厚度进行无损测量的测量探头有效
| 申请号： | 201110174344.0 | 申请日： | 2011-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN102278938A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | H·菲舍尔 | 申请（专利权）人： | 赫尔穆特费希尔有限责任公司电子及测量技术研究所 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 彭武;谭祐祥 |
| 地址： | 德国辛*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于无损测量薄层厚度的测量探头，特别是空腔中的薄层，其通过开口可进入或是在弯曲表面上的，该测量探头具有测量头(17)，其包括至少一个传感器元件(18)和分配到空腔(26)的待检查表面(27)上的传感器元件(18)上的至少一个接触球冠(31)，并具有抓握元件(12)，用于在待检表面(27)上和/或沿着待检表面(27)定位和引导测量探头(11)，特征在于在抓握元件(12)上设置长的、弹性屈服的导杆(16)，其在它的与抓握元件(12)相对的末端上接收至少一个测量头(17，60)，以这种方式，测量头以相对于导杆(16)的至少一个自由度可移动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 薄层 厚度 进行 无损 测量 探头 | ||
【主权项】：
一种用于对薄层厚度进行无损测量的测量探头，特别是针对通过开口可进入的空腔中的或在弯曲表面上的薄层，该测量探头具有测量头(17)并具有抓握元件(12)，测量头(17)包括至少一个传感器元件(18)和分配到空腔(26)的待检查表面(27)上的传感器元件(18)上的至少一个接触球冠(31)，抓握元件(12)用于在待检查表面(27)上和/或沿着待检查表面(27)定位和引导测量探头(11)，特征在于，在抓握元件(12)上设置一种长的、弹性屈服的导杆(16)，导杆(16)在它的与抓握元件(12)相对着的末端上接纳至少一个测量头(17，60)，以这种方式，测量头是以相对于导杆(16)的至少一个自由度可移动的。
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