[发明专利]检查板状透明体的缺陷的装置以及缺陷检查方法无效
| 申请号： | 201110175748.1 | 申请日： | 2011-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN102368056A | 公开（公告）日： | 2012-03-07 |
| 发明（设计）人： | 谷秀人;金子静则 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;G01B11/22 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种检查板状透明体的缺陷的装置以及缺陷检查方法，检查板状透明体的缺陷的装置使光照射到存在于板状透明体的第一表面的缺陷并发生散射来检查上述缺陷，具备以下部分：第一发光器，其将光照射到上述板状透明体的第一侧面；第二发光器，其将光照射到与上述板状透明体的第一侧面相对的第二侧面；第一受光器，其接收由来自上述第一发光器的光产生的前方散射光；以及第二受光器，其接收由来自上述第二发光器的光产生的前方散射光，其中，上述第一受光器的受光方向和与上述板状透明体的第一表面相对的第二表面的法线方向之间的角度θ1为0°＜θ1≤60°，上述第二受光器的受光方向与上述法线方向之间的角度θ2为0°＜θ2≤60°。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 透明体 缺陷 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种检查板状透明体的缺陷的装置，使光照射到存在于板状透明体的第一表面上的缺陷上并发生散射来检查上述缺陷，该检查板状透明体的缺陷的装置具备以下部分：第一发光器，其将光照射到上述板状透明体的第一侧面；第二发光器，其将光照射到上述板状透明体的与第一侧面相对的第二侧面；第一受光器，其接收由来自上述第一发光器的光产生的前方散射光；以及第二受光器，其接收由来自上述第二发光器的光产生的前方散射光，其中，上述第一受光器的受光方向和上述板状透明体的位于第一表面相反侧的第二表面的法线方向之间的角度θ1为0°＜θ1≤60°上述第二受光器的受光方向与上述法线方向之间的角度θ2为0°＜θ2≤60°。
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