[发明专利]一种单晶硅棒的冷粘接方法有效
申请号: | 201110176723.3 | 申请日: | 2011-06-28 |
公开(公告)号: | CN102268739A | 公开(公告)日: | 2011-12-07 |
发明(设计)人: | 樊树青;张勇;牛聚刚;王遥;张旭明 | 申请(专利权)人: | 宁晋松宫电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B33/06 | 分类号: | C30B33/06 |
代理公司: | 石家庄汇科专利商标事务所 13115 | 代理人: | 刘闻铎 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种单晶硅棒的冷粘接方法,用于单晶硅棒开方前的粘接操作,其关键在于该方法的实现包括以下步骤:在晶托的上表面涂覆一层熔化后的热熔胶,做为热熔胶保温层,起到保温层的作用;在热熔胶保温层的外表面上再涂一层熔化后的热熔胶,做为热熔胶粘接层,起到粘结的作用;将单晶硅棒放置在热熔胶粘接层上与晶托进行粘接;热熔胶冷却后,完成单晶硅棒与晶托的粘接。本发明粘接时间短、生产效率高,并且粘结牢固可靠,而且晶托不加热,避免了加热晶托时可能引发的烫伤等事故。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 冷粘接 方法 | ||
【主权项】:
一种单晶硅棒的冷粘接方法,用于单晶硅棒开方前的粘接操作,其特征在于该方法的实现包括以下步骤:(1)在晶托的上表面涂覆一层熔化后的热熔胶,作为保温层;(2)在保温层上再涂一层熔化后的热熔胶,作为粘接层;(3)将单晶硅棒放置在热熔胶粘接层上与晶托进行粘接;(4)热熔胶冷却后,完成单晶硅棒与晶托的粘接。
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