[发明专利]单晶硅埚底料中石英与硅料的分离方法有效

专利信息
申请号: 201110178112.2 申请日: 2011-06-29
公开(公告)号: CN102241401A 公开(公告)日: 2011-11-16
发明(设计)人: 秦海滨;张志成;王柳英;毕梅芳;冯利岗 申请(专利权)人: 山西晶都太阳能电力有限公司
主分类号: C01B33/037 分类号: C01B33/037;B03D1/02
代理公司: 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 代理人: 崔雪花
地址: 030032 山西省朔*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明单晶硅埚底料中石英与硅料的分离方法,属于半导体分离技术领域;所要解决的技术问题是提供了一种耗时短,耗能少的单晶硅埚底料中石英与硅料的分离方法;采用的技术方案为:第一步、将要分离的埚底料破碎至粒径不超过10mm;第二步、用50℃的纯水配制重量百分比为10%的碱性溶液50L;第三步、恒温水浴下,将破碎好的埚底料10kg倒入第二步中配制好的50L碱性溶液中,搅拌;第四步、在所述碱性溶液中加入起泡剂,加入量为10ml;第五步、向所述碱性溶液中鼓入空气,使硅料随着其表面产生的气泡浮出液面,收集浮出的硅料;第六步、收集完浮出的硅料后,回收底部的石英;本发明用于分离单晶硅埚底料中的石英与硅料。
搜索关键词: 单晶硅 埚底料中 石英 分离 方法
【主权项】:
单晶硅埚底料中石英与硅料的分离方法,其特征在于,按照下述步骤进行:    第一步、将要分离的埚底料破碎至粒径不超过10mm;    第二步、在耐碱的容器中,用50℃的纯水配制重量百分比为10%的碱性溶液50L;    第三步、恒温水浴下,将破碎好的埚底料10kg倒入第二步中配制好的50L碱性溶液中,搅拌,使埚底料均匀的分布于容器底部且充分与碱性溶液接触;    第四步、在所述碱性溶液中加入起泡剂,加入量为10ml;    第五步、向所述碱性溶液中鼓入空气,使硅料随着其表面与所述碱性溶液反应产生的气泡浮出液面,收集浮出的硅料;    第六步、收集完浮出的硅料后,回收底部的石英;      所述的起泡剂或为仲辛醇,或为异丙醇。
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