[发明专利]Al基合金溅射靶无效
| 申请号： | 201110178712.9 | 申请日： | 2011-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN102477539A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 大元诚一郎;高木敏晃 | 申请（专利权）人： | 株式会社钢臂功科研 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C21/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 翟赟琪 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种Al基合金溅射靶，其可以提高作为电阻率低、耐热性优良的布线材料被广泛使用的Al-Nd/La合金的耐碱腐蚀性。本发明的溅射靶由含有0.1～3原子％的Nd和/或La的Al基合金构成，Al基合金中所含的Fe量被控制在Nd和/或La的合计量的1/76以下。 | ||
| 搜索关键词： | al 合金 溅射 | ||
【主权项】：
一种溅射靶，其特征在于，由含有0.1～3原子％的Nd和/或La的Al基合金构成，Al基合金中所含的Fe量为Nd和/或La的合计量的1/76以下。
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