[发明专利]高频等离子体多功能粉体生产设备

摘要

本发明涉及一种利用高频等离子体为热源制取纳米粉体的生产设备，该设备包括用于产生高频等离子体的高频等离子体发生装置Ⅱ、用于向等离子体发生装置Ⅱ输送粉体原料的送粉装置Ⅰ、主机室Ⅲ、粉体收集净化装置Ⅳ、气体冷却装置Ⅴ、供气蓄能装置Ⅵ、气体分配装置Ⅶ、回粉装置Ⅷ以及真空系统和为设备提供电力的电源系统以及电气控制系统；该设备可生产单质金属纳米粉、合金纳米粉及氧化物、氮化物、硼化物纳米粉，也可对热喷涂用粉体及其它粉体进行球形化、致密化加工处理，具有能源利用率高、产出率高、无污染、安全性好等优点。

主权项

一种高频等离子体多功能粉体生产设备，其特征在于：该设备包括：用于向等离子体发生装置Ⅱ输送粉体原料的送粉装置Ⅰ；位于主机室Ⅲ顶部、用于产生高频等离子体的高频等离子体发生装置Ⅱ；通过管路与主机室Ⅲ相连接的粉体收集净化装置Ⅳ；通过管路与粉体收集净化装置Ⅳ相连的气体冷却装置Ⅴ，气体冷却装置V通过水冷却或压缩机制冷方式对工作介质气体进行冷却；通过管路与气体冷却装置Ⅴ连接的供气蓄能装置Ⅵ，用于对工作介质气体保压、蓄能；通过管路与供气蓄能装置Ⅵ相连的气体分配装置Ⅶ，用于给送粉装置Ⅰ、高频等离子体发生装置Ⅱ、主机室Ⅲ提供工作介质气体；连接送粉装置Ⅰ和主机室Ⅲ的回粉装置Ⅷ；对设备抽真空的真空系统和为设备提供电力的电源系统以及电气控制系统。