[发明专利]一种高体积比能量密度微能源系统及其制作方法有效
| 申请号： | 201110180049.6 | 申请日： | 2011-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN102347518A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 周健;孙晓玮;谈惠祖;周舟;周建华;王伟;刘正新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01M10/46 | 分类号： | H01M10/46;H01M10/058 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高体积比能量微能源系统及制作方法，其特征在于所述的系统由a)用金刚石钻头在玻璃衬底上打孔，孔为两个相对的空心圆台；b)在玻璃衬底正面和背面溅射Al薄膜，Al膜的厚度填满空洞深度，实现双面Al互联；c)在Al背面依次沉积氮化钴镍、LiPON薄膜、Li薄膜和Al薄膜；d)在未覆盖电池多层膜的Al膜表面安装能源管理模块和RF收发模块；e)在玻璃正面Al表面依次沉积n型微晶硅、i型GexSi1-x，0＜x＜1，p型非晶硅和含3％Al的AZO；f)用Au线连接AZO、Li电池阳极、能源管理模块输出端、RF收发模块输出端。采用方法为溅射沉积方法，制作微能源系统体积比能量密度大于291.9W/L，为物联网节点微型化、便携性、长时供电及野外应用提供技术手段。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 体积 能量 密度 能源 系统 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种高体积比能量微能源系统，其特征在于所述的微能源系统的组成为：a)在玻璃衬底上打孔，孔为两个相对的空心圆台；b)在玻璃衬底正面和背面分别溅射Al薄膜，Al膜的厚度填满空洞深度，实现双面Al互联；c)在玻璃衬底背面的Al膜表面依次沉积氮化钴镍、LiPON薄膜、Li薄膜和Al薄膜；d)在未覆盖多层电池的Al膜表面安装能源管理模块和RF收发模块；e)在玻璃正面Al表面依次沉积n型微晶硅、0＜x＜1的i型GexSi1‑x，p型非晶硅和含3％Al的AZO；f)用Au线连接AZO、Li电池阳极、能源管理模块输出端、RF收发模块输出端。
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