[发明专利]一种提高太阳能电池RIE均匀性的制绒设备及方法无效
| 申请号： | 201110180147.X | 申请日： | 2011-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN102364662A | 公开（公告）日： | 2012-02-29 |
| 发明（设计）人： | 钟明 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/3065 | 分类号： | H01L21/3065 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池的RIE制绒设备领域，本发明涉及太阳能电池的RIE制绒设备领域，特别是一种提高太阳能电池RIE均匀性的制绒设备及方法，制绒设备包括反应腔、顶部气体管路和喷淋头，电池片放置在反应腔内，喷淋头位于反应腔的顶部，反应气体通过顶部气体管路输送，从喷淋头进入反应腔，在反应腔侧壁上设置侧壁气体管路，在顶部气体管路和侧壁气体管路上都设置单独的流量控制器，可分别调整流量。该方法为：使用该制绒设备，如果边缘反射率较高则可增加侧壁气体管路流量，反之则降低侧壁气体管路流量，通过本发明可改善RIE制绒工艺的均匀性，增加工艺的可控性，解决电池性能不稳定的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 太阳能电池 rie 均匀 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种提高太阳能电池RIE均匀性的制绒设备，包括反应腔、顶部气体管路(1)和喷淋头(2)，电池片(4)放置在反应腔内，喷淋头(2)位于反应腔的顶部，反应气体通过顶部气体管路(1)输送，从喷淋头(2)进入反应腔，其特征是：在所述的反应腔侧壁(3)上设置侧壁气体管路(5)，在顶部气体管路(1)和侧壁气体管路(5)上都设置单独的流量控制器(6)，可分别调整流量。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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