[发明专利]水溶性树脂组合物及微细图形的形成方法有效
| 申请号： | 201110181723.2 | 申请日： | 2011-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN102603967A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 朴相昱;朴素晶;徐东辙 | 申请（专利权）人： | 韩国锦湖石油化学株式会社 |
| 主分类号： | C08F220/56 | 分类号： | C08F220/56;C08F220/58;C08F220/60;C08F232/08;C08F220/34;C08F220/54;G03F7/00;G03F7/004;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 黄丽娟;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于形成微细图形的水溶性树脂组合物，在形成有接触孔图形的光致抗蚀剂薄膜上进行涂敷及热处理，从而减小上述接触孔的尺寸，其包含由下述化学式1表示的水溶性聚合物和第1水溶性溶剂，[化学式1]在上述化学式1中，R1、R2、R3和R5各是分别独立地包含氢、醚基、酯基、羰基、乙酰基、环氧基、腈基、胺基或醛基的C1-30的烷基或C3-30的环烷基，R4、R6、R7和R8分别独立地是氢或甲基，n是0～5的整数，a是0.05～0.5的实数，b、c和d分别是0～0.7的实数，上述a、b、c和d满足a+b+c+d＝1的条件。 | ||
| 搜索关键词： | 水溶性 树脂 组合 微细 图形 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于形成微细图形的水溶性树脂组合物，在形成有接触孔图形的光致抗蚀剂膜上进行涂敷及热处理，从而减小上述接触孔的尺寸，其包含由下述化学式1表示的水溶性聚合物和第1水溶性溶剂，[化学式1]![]()
在上述化学式1中，R1、R2、R3和R5各是分别独立地包含氢、醚基、酯基、羰基、乙酰基、环氧基、腈基、胺基或醛基的C1-30的烷基或C3-30的环烷基，R4、R6、R7和R8分别独立地是氢或甲基，n是0～5的整数，a是0.05～0.5的实数，b、c和d分别是0～0.7的实数，上述a、b、c和d满足a+b+c+d＝1的条件。
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