[发明专利]钛基掺硼金刚石涂层电极的制备方法

摘要

一种钛基掺硼金刚石涂层电极的制备方法，它是通过在基底材料上溅射过渡层，再在此基础上CVD法沉积掺硼金刚石涂层来实现的。由基材（1）、过渡层（2）和金刚石层（3）构成的电极，其特征在于所述的基材为钛，过渡层为通过磁控溅射的铌或钽，CVD工艺中使用掺硼浓度为6000~10000ppm。本发明提供了长寿、高电解效率的BDD电极的制备方法，它具有低成本、高重复性的优点。

主权项

一种钛基掺硼金刚石涂层电极的制备方法，其特征是它包括以下步骤:首先，用粒度为W40和W10的金相砂纸分别对作为基底材料（1）的纯钛板表面进行打磨各5‑10分钟；其次，将经过研磨的纯钛板置于酒精中超声清洗2‑3次，每次10分钟，完成钝钛板的溅射预处理；第三，将经过溅射预处理的钝钛板置于溅射装置中进行溅射，在钝钛板表面形成溅射过渡层（2）；第四，将溅射有过渡层（2）的钝钛板放入摩尔浓度为5‑10%的盐酸溶液中进行酸洗，控制酸洗温度为70‑90℃；第五，将酸洗过的钝钛板放入由0.2～1微米的金刚石粉末配制的酒精悬浊液中进行超声清洗至少30分钟，酒精悬浊液的浓度为1g/100ml，以便在溅射过渡层（2）上进行种晶；种晶结束后再用纯酒精进行超声清洗2‑3次，每次2‑4分钟，酒精超声清洗结束后再进行吹干处理，得到经过溅射过渡层（2）经过预处理的纯钛板；第六，利用CVD法在上述经过预处理的溅射过渡层（2）上沉积掺硼金刚石，在溅射过渡层（2）上形成结合强度满足要求的掺硼金刚石层（3）。