[发明专利]用于测量加速度、压力和类似参数的微机械的传感器装置

摘要

本发明涉及一种用于测量加速度、压力和类似参数的微机械的传感器装置。该微机械的传感器装置包括基片、以活动的方式优选有弹性地布置在所述基片上的试验块、用于借助于压电效应将作用于所述试验块的力转换为优选电气的信号的转换装置、用于向所述试验块加载额外的力的力加载器件尤其电极、用于控制所述力加载器件的控制器件，其中所述控制器件如此控制所述力加载器件，从而暂时地尤其周期性地向所述试验块加载所述额外的力，并且本发明涉及一种相应的方法。

主权项

用于测量加速度、压力和类似参数的微机械的传感器装置（V），包括基片（S），试验块（1），该试验块（1）以活动的方式优选有弹性地布置在所述基片（S）上，转换装置（E、5c、6c 、6a、6b、WS、WH），所述转换装置（E、5c、6c 、6a、6b、WS、WH）用于借助于压电效应将作用于所述试验块（1）的力转换为优选电气的信号，力加载器件（3a、3b）尤其电极，用于向所述试验块（1）加载额外的力，用于控制所述力加载器件（3a、3b）的控制器件（7），其中所述控制器件（7）如此控制所述力加载器件（3a、3b），从而暂时地尤其周期性地向所述试验块（1）加载所述额外的力。