[发明专利]微型针装置的制造方法和相应的微型针装置及其应用有效
| 申请号： | 201110183266.0 | 申请日： | 2011-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN102311091A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | M.施通贝尔;F.沙茨 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B1/00;B81B7/04;A61B17/20;A61M37/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 曹若;杨国治 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提供一种微型针装置的制造方法和一种相应的微型针装置，及其应用。本方法具有下述步骤：在基质（1）上形成具有栅格支架（100′、110′；100″、110″；100″′、110″′），具有相应的栅格交叉区域（10′a；10″a；10″′a）和位于中间的栅格开口（10′b；10″b；10″′b）的栅格形的蚀刻掩模（10′；10″；10″′）；在使用蚀刻掩模（10′；10″；10″′；11″′；12″′；13″′；14″′）的情况下在基质（1）上实施形成微型针装置（20′；20″；20″′；21″′；22″′）的蚀刻工序；取下蚀刻掩模（10′；10″；10″′；11″′；12″′；13″′；14″′）。栅格形的蚀刻掩模（10′；10″；10″′）在栅格交叉区域（10’a；10″a；10″′a）的至少一部分上具有平面的加强区域（115′；115″a；115″b），所述栅格交叉区域超出栅格接片（100′、110′；100″、110″；100″′、110″′）地延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 装置 制造 方法 相应 及其 应用 | ||
【主权项】：
制造微型针装置（20’；20’’；20’’’；21’’’;22’’’）的方法，具有下述步骤：‑ 在基质（1）上形成具有栅格接片（100’、110’；100’’、110’’;100’’’、100’’’），具有相应的栅格交叉区域（10’a；10’’a；10’’’a）和位于其中间的栅格开口（10’b；10’’b；10’’’b）的栅格形的蚀刻掩模（10’；10’’；10’’’）；‑ 在使用蚀刻掩模（10’；10’’；10’’’；11’’’；12’’’；13’’’；14’’’）的情况下在基质（1）上实施用于形成微型针装置（20’；20’’；20’’’；21’’’；22’’’）的蚀刻工序；‑ 取下蚀刻掩模（10’；10’’；10’’’；11’’’；12’’’；13’’’；14’’’）；其特征在于，栅格形的蚀刻掩模（10’；10’’；10’’）在栅格交叉区域（10’a；10’’a；10’’’a）的至少一部分上具有平面的加强区域（115’；115’’a；115’’b），其超出栅格接片（100’、110’；100’’、110’’;100’’’、110’’’）地延伸。
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