[发明专利]磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法无效
| 申请号： | 201110185137.5 | 申请日： | 2011-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN102251214A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 朱嘉琦;沈伟霞;贾泽纯;韩杰才;王家智 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 韩末洙 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法，它属于耐磨耐蚀涂层领域。本发明要解决现有磷化硼薄膜制备方法存在寿命短的技术问题。本发明方法：一、超声清洗；二、将步骤一处理后的不锈钢衬底置于磁控溅射真空仓内的加热台上，然后对真空仓进行抽真空至真空度达到1.0×10-7～9.9×10-7Pa，启动加热装置，加热至200～600℃后保温10～30分钟；步骤三、反溅清洗；步骤四、以高纯硼靶和PH3做反应物镀膜，制得磷化硼耐磨耐蚀涂层。本发明制备的磷化硼薄膜具有很高的硬度与模量，与基底良好的附着性以及很低的残余应力，在摩擦磨损过程中磨损率小，磨损寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 磷化 耐磨 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法，其特征在于磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法是按下述步骤进行的：步骤一、将不锈钢衬底依次用丙酮、乙醇和去离子水超声清洗；步骤二、将步骤一处理后的不锈钢衬底置于磁控溅射真空仓内的加热台上，然后对真空仓进行抽真空至真空度达到1.0×10‑7～9.9×10‑7Pa，启动加热装置，加热至200～600℃后保温10～30分钟；步骤三、然后向真空仓内通入氩气至真空仓内压强为3～5Pa，对不锈钢衬底表面进行反溅清洗3～5分钟；步骤四、再施加溅射功率启辉，溅射功率为120～160W，调节氩气的气体流量为50～100sccm，PH3的气体流量为3～50sccm，高纯硼作溅射靶材，移开挡板向不锈钢衬底表面镀膜，镀膜结束后，关闭所有电源，待真空仓内温度降至室温时即制得磷化硼耐磨耐蚀涂层。
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