[发明专利]一种用于纯水干燥硅片的清洗机无效
| 申请号： | 201110185300.8 | 申请日： | 2011-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN102319692A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 贺洁;葛荣保 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于纯水干燥硅片的清洗机，包括清洗机机台，机台内具有多道清洗槽，机台末道的清洗槽与纯水输送管道连接，纯水输送管道向该清洗槽内输入纯水，在该清洗槽内设置加热管，将纯水加热至70℃～80℃度。本发明的有益效果是：1、使用热纯水代替了切水剂，从根本上消除了企业的安全隐患；2、通过使用热水的方法使硅片变热，从而进入烘箱时，更易干燥；3、通过使用纯净热水，相当于增加了一道清洗，使发生脏片的概率更低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 纯水 干燥 硅片 清洗 | ||
【主权项】：
一种用于纯水干燥硅片的清洗机，包括清洗机机台，机台内具有多道清洗槽，其特征是：机台末道的清洗槽(4)与纯水输送管道连接，纯水输送管道向该清洗槽(4)内输入纯水，在该清洗槽(4)内设置加热管(1)，将纯水加热至70℃～80℃度。
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