[发明专利]一种磁悬浮分子泵失稳恢复控制方法

摘要

一种磁悬浮分子泵失稳恢复控制方法，所述磁悬浮分子泵的转子失稳后，磁悬浮分子泵控制器切换到失稳恢复控制器，关闭磁悬浮分子泵电机，关闭磁悬浮分子泵抽气口和前级机械泵抽气阀，打开磁悬浮分子泵放气阀放入空气，随后关闭；然后根据转子重心位置状态，首先恢复所述转子在下径向或上径向上正常悬浮，然后依次恢复所述转子在另一径向上、轴向上的正常悬浮，在此过程中不断检测已经可以悬浮的径向是否仍能正常悬浮，最终实现所述转子重新悬浮。解决了现有技术中的磁悬浮分子泵的失稳恢复系统需要大量测试数据、无法适用各种型号泵的技术问题，是一种适于各种磁悬浮分子泵失稳情况恢复、恢复时间短、效果好的磁悬浮分子泵失稳恢复控制方法。

主权项

一种磁悬浮分子泵失稳恢复控制方法，其特征在于，包括如下过程：（1）磁悬浮分子泵的转子失稳后，磁悬浮分子泵控制器切换到失稳恢复控制器，所述失稳恢复控制器关闭磁悬浮分子泵电机，并利用电机刹车系统使电机迅速降速；（2）所述失稳控制器关闭磁悬浮分子泵抽气口和前级机械泵抽气阀，然后打开磁悬浮分子泵放气阀放入空气，随后关闭所述磁悬浮分子泵放气阀；（3）根据所述转子重心位置不同，选择首先恢复所述转子在下径向或上径向上正常悬浮，然后恢复所述转子在另一径向上的正常悬浮；所述转子在下径向和上径向均能正常悬浮后，恢复所述转子在轴向正常悬浮，从而实现所述转子重新悬浮；（4）所述转子重新悬浮后，磁悬浮分子泵控制器切换到正常工作控制器，打开前级机械泵抽气阀继续抽气，重新启动磁悬浮分子泵电机，利用真空计测量分子泵的泵体内的真空度，当分子泵泵体内的真空度达到要求后，打开所述磁悬浮分子泵抽气口，恢复所述磁悬浮分子泵正常工作。