[发明专利]一种垂直气流型MOCVD气体输运喷头装置

摘要

本发明公开了一种垂直气流型MOCVD气体输运喷头装置，它包括一个由顶板、侧壁以和底板组成的封闭型外壳，封闭型外壳的内部被分成保温腔、气体混合室和水冷腔，进气孔将气体混合室和进气孔的出气口下方的反应室连通，特征是：在气体混合室对应的侧壁上安装有第一进气管和第二进气管，第一进气管和第二进气管负责将两种类型的气体分别输运到气体混合室内，在第一进气管和第二进气管的外壁均缠有加热带。在保温腔内装作为保温液的水或油。本发明具有能够将反应气体提前混合均匀、然后通入反应室、保证气体正常输送的优点，本发明在气体混合充分的前提下，避免了气体之间的预反应，能够提高源利用率以及晶体质量。

主权项

一种垂直气流型MOCVD气体输运喷头装置，包括一个由顶板、侧壁和底板组成的封闭型外壳，封闭型外壳的内部被上中层板和下中层板分成三个独立且相互密封的部分，分别为保温腔、气体混合室和水冷腔，位于下中层板和底板之间的进气孔将气体混合室和进气孔的出气口下方的反应室连通，进气孔负责将气体混合室内混合好的反应气体输运到反应室中，在水冷腔两端对应的侧壁上分别安装有冷却水进水管和冷却水出水管，其特征在于：在气体混合室对应的侧壁上安装有第一进气管和第二进气管，第一进气管和第二进气管负责将两种类型的气体分别输运到气体混合室内，在第一进气管和第二进气管的外壁均缠有加热带。