[发明专利]具有叠加准周期条阵结构的声表面波器件有效
| 申请号： | 201110188728.8 | 申请日： | 2011-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN102324908A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 陈培杕;徐海林;孙娟;高宁;肖功亚 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H03H9/13 | 分类号： | H03H9/13;H03H9/25 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 张苏沛 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有叠加准周期条阵结构的声表面波器件，是在常规的声表面波器件芯片表面叠加准周期条阵结构，条阵结构的条方向沿声表面波传播方向延伸，条阵结构的条间距是有一定规律的准周期值，于是在器件的有源电极部分变为二维点阵，而在其余部分仍为一维条阵；采用双层膜淀积工艺和条阵掩膜腐蚀去除上层膜，不需精确套刻即可制作出本发明的叠加条阵结构。本发明的优点在于：工艺简单，设计自由，可以应用于所有声表面波器件，改进其性能。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 叠加 周期 结构 表面波 器件 | ||
【主权项】：
一种具有叠加准周期条阵结构的声表面波器件，包括有源部分、无源部分、元件部分和空白部分，其特征在于：器件芯片表面叠加准周期条阵结构，所述条阵结构叠加在器件电极结构上方，器件有源部分垂直于声表面波传播方向，叠加在器件有源电极部分变为二维点阵，在器件其余部分为一维条阵。
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