[发明专利]直拉式单晶炉用坩埚驱动装置无效
申请号: | 201110189798.5 | 申请日: | 2011-07-04 |
公开(公告)号: | CN102268727A | 公开(公告)日: | 2011-12-07 |
发明(设计)人: | 周云龙;刘存华 | 申请(专利权)人: | 温州永泰电器有限公司 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 325604 浙江省乐清市柳*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种直拉式单晶炉用坩埚驱动装置,它包括坩埚支架、坩埚旋转组件、坩埚轴组件、埚升组件,坩埚支架固定在底座上,两根配对的配有滑块的滚动直线导轨副固定在坩埚支架上,滑台与两块滑块连接,滑台上装坩埚轴组件,坩埚旋转组件装在滑台一侧,坩埚旋转组件带动坩埚轴组件旋转,驱动滚珠丝杆副上段通过轴承与上轴承座连接,上轴承座固定在坩埚支架顶面,埚升组件固定在底座上,埚升组件带动蜗轮减速器,滑台上的下轴承座与驱动滚珠丝杆副中的丝杆螺母连接,蜗轮减速器固定在底座上,驱动滚珠丝杆副直接连接蜗轮减速器,蜗轮减速器直接带动驱动滚珠丝杆副旋转。它与现有装置相比,能有效地避免操作失误锅位降得过低而损坏石墨件。 | ||
搜索关键词: | 直拉式单晶炉用 坩埚 驱动 装置 | ||
【主权项】:
一种直拉式单晶炉用坩埚驱动装置,它包括坩埚支架(1)、坩埚旋转组件(3)、坩埚轴组件(2)、埚升组件(4),坩埚支架(1)固定在底座(14)上,两根配对的配有滑块(16)的滚动直线导轨副(7)固定在坩埚支架(1)上,滑台(15)与两块滑块(16)连接,滑台(15)上装坩埚轴组件(2),坩埚旋转组件(3)装在滑台(15)一侧,坩埚旋转组件(3)带动坩埚轴组件(2)旋转,驱动滚珠丝杆副(6)上段通过轴承与上轴承座(10)连接,上轴承座(10)固定在坩埚支架(1)顶面,埚升组件(4)固定在底座(14)上,埚升组件(4)带动蜗轮减速器(8),其特征是:滑台(15)中的下轴承座(9)与驱动滚珠丝杆副(6)中的丝杆螺母(17)连接,蜗轮减速器(8)固定在底座(14)上,驱动滚珠丝杆副(6)直接连接蜗轮减速器(8),蜗轮减速器(8)直接带动驱动滚珠丝杆副(6)旋转。
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