[发明专利]用于真空室结构的集成齿轮箱和旋转馈入系统无效

专利信息
申请号: 201110190351.X 申请日: 2011-06-30
公开(公告)号: CN102315101A 公开(公告)日: 2012-01-11
发明(设计)人: R·W·布莱克 申请(专利权)人: 初星太阳能公司
主分类号: H01L21/20 分类号: H01L21/20;F16H57/02
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 严志军;谭祐祥
地址: 美国科*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及用于真空室结构的集成齿轮箱和旋转馈入系统。真空室结构(102)包括构造在室壁(104)上以对结构的内部提供旋转驱动的旋转馈入(100)。旋转馈入包括具有外壳(110)和轴(123)的齿轮箱(108),轴(123)由包含在外壳内的轴承(112)可旋转地支承。马达(116)可操作地联接至齿轮箱外壳以驱动轴,且轴从齿轮箱延伸。密封组件(126)可操作地设置在齿轮箱外壳和室壁之间,且轴设置成穿过密封组件并且延伸穿过在室壁中的孔(106)并进入结构的内部。仅经由齿轮箱外壳中的轴承,轴由轴承可旋转地支承。
搜索关键词: 用于 真空 结构 集成 齿轮箱 旋转 系统
【主权项】:
一种真空室结构(12),包括:室壁(104);旋转馈入(100),其构造在所述室壁的外部上,以输送旋转运动穿过在所述室壁中的孔(106)至所述结构的所述内部,所述旋转馈入包括:齿轮箱(108),其具有外壳(110)和由轴承(112)可旋转地支承的内部空心的轴(114),所述轴承(112)包含在所述外壳内;马达(116),其可操作地联接至所述齿轮箱外壳以驱动所述空心的轴;输出轴(124),其至少部分地设置在所述空心的轴内且可旋转地联接至所述空心的轴;以及密封组件(126),其可操作地设置在所述齿轮箱外壳和所述壁之间,所述输出轴被设置穿过所述密封组件并且延伸穿过在所述室壁中的所述孔且进入所述结构的所述内部;其中,仅间接地经由所述齿轮箱外壳中的可旋转地支承所述空心的轴的所述轴承,所述输出轴由轴承可旋转地支承。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于初星太阳能公司,未经初星太阳能公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201110190351.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top