[发明专利]波长复用器/解复用器及其制造方法

摘要

本发明提供了一种波长复用器/解复用器及其制造方法，所述波长复用器/解复用器包括马赫-增德尔干涉仪和阵列波导衍射光栅，所述波长复用器/解复用器具有简单的构造，并且可以降低在马赫-增德尔干涉仪中提供的温度补偿材料的温度补偿特性的劣化或者温度补偿材料的脱落。波长复用器/解复用器包括：包括两个分离的平板波导的AWG和包括两个支路波导的MZI。在两个支路波导中形成温度补偿沟槽，其中在温度补偿沟槽和两个分离的平板波导之间的空间中，填充补偿材料，其折射率匹配AWG或马赫-增德尔干涉仪的补偿材料的折射率，该补偿材料具有的温度依赖系数的符号不同于波导芯的温度依赖系数的符号，并且该补偿材料具有可塑性或者流动性。

主权项

一种波长复用器/解复用器，包括：具有耦合到一个或多个第一波导的两个支路波导的马赫‑增德尔干涉仪；以及阵列波导衍射光栅，其包括耦合到所述马赫‑增德尔干涉仪的第一平板波导、耦合到所述第一平板波导的具有多个不同光学路径长度的波导的阵列波导、耦合到所述阵列波导的第二平板波导、以及平行地布置并耦合到所述第二平板波导的多个第二波导，其中，所述第一平板波导在与通过所述第一平板波导的光的路径相交的平面中分离，所述波长复用器/解复用器进一步包括：第一构件，在其中提供了分离的第一平板波导中的一个和所述马赫‑增德尔干涉仪；第二构件，在其中提供了分离的第一平板波导中的另一个和所述阵列波导；以及温度补偿机构，其通过根据温度的变化移动所述第一构件和所述第二构件中的至少一个来改变所述分离的第一平板波导中的一个和所述分离的第一平板波导中的另一个之间的相对位置，从而阵列波导衍射光栅的传输中心波长的温度依赖性降低，其中在所述马赫‑增德尔干涉仪的两个支路波导中的至少一个中形成有与所述支路波导交叉设置的沟槽，并且在所述沟槽中以及在所述分离的第一平板波导中的一个和所述另一个之间填充相同的补偿材料，所述相同的补偿材料具有匹配所述阵列波导衍射光栅的波导芯和所述马赫‑增德尔干涉仪的折射率的折射率、与所述波导芯的温度依赖系数不同的温度依赖系数、和可塑性或流动性。