[发明专利]LED光学特性检测方法及检测装置有效
申请号: | 201110191200.6 | 申请日: | 2011-07-08 |
公开(公告)号: | CN102865999A | 公开(公告)日: | 2013-01-09 |
发明(设计)人: | 陈鲁;夏洋;张超前;张学一 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01R31/44 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种LED光学特性检测方法及检测装置,方法包括:提供激光光源;提供光栅,将光栅放置在激光光源的光路上;在光栅背后放置LED,使LED有源层与光栅的距离满足泰伯距离,在LED有源层上形成光栅自成像,光栅自成像包括阵列式排布的照明点;采集LED有源层受阵列式排布的照明点激发产生的荧光。装置包括:激光光源,用于提供相干光束;光栅,用于在接收相干光束时形成光栅自成像;平台,用于承载待检测的LED,使LED有源层与光栅距离为泰伯距离,在LED有源层上形成光栅自成像,光栅自成像包括阵列式排布的照明点;采集器,用于采集LED有源层受阵列式排布的照明点激发而形成的荧光。本发明检测精度较高。 | ||
搜索关键词: | led 光学 特性 检测 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种LED光学特性检测方法,其特征在于,包括:提供激光光源;提供光栅,将光栅放置在激光光源的光路上;在光栅背后放置LED,使LED有源层与光栅的距离满足泰伯距离,在LED有源层上形成光栅自成像,所述光栅自成像包括阵列式排布的照明点;采集所述LED有源层受所述阵列式排布的照明点激发产生的荧光。
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