[发明专利]LED光学特性检测方法及检测装置有效

专利信息
申请号: 201110191200.6 申请日: 2011-07-08
公开(公告)号: CN102865999A 公开(公告)日: 2013-01-09
发明(设计)人: 陈鲁;夏洋;张超前;张学一 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02;G01R31/44
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 骆苏华
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种LED光学特性检测方法及检测装置,方法包括:提供激光光源;提供光栅,将光栅放置在激光光源的光路上;在光栅背后放置LED,使LED有源层与光栅的距离满足泰伯距离,在LED有源层上形成光栅自成像,光栅自成像包括阵列式排布的照明点;采集LED有源层受阵列式排布的照明点激发产生的荧光。装置包括:激光光源,用于提供相干光束;光栅,用于在接收相干光束时形成光栅自成像;平台,用于承载待检测的LED,使LED有源层与光栅距离为泰伯距离,在LED有源层上形成光栅自成像,光栅自成像包括阵列式排布的照明点;采集器,用于采集LED有源层受阵列式排布的照明点激发而形成的荧光。本发明检测精度较高。
搜索关键词: led 光学 特性 检测 方法 装置
【主权项】:
一种LED光学特性检测方法,其特征在于,包括:提供激光光源;提供光栅,将光栅放置在激光光源的光路上;在光栅背后放置LED,使LED有源层与光栅的距离满足泰伯距离,在LED有源层上形成光栅自成像,所述光栅自成像包括阵列式排布的照明点;采集所述LED有源层受所述阵列式排布的照明点激发产生的荧光。
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