[发明专利]外延材料层的特性测试装置无效
| 申请号： | 201110191716.0 | 申请日： | 2011-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN102866143A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 梁秉文 | 申请（专利权）人： | 光达光电设备科技（嘉兴）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/66 | 分类号： | G01N21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 314300 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种外延材料层的特性测试装置，包括：探针单元，在测试时能够与所述外延材料层的表面形成导电接触，通过所述探针单元向所述外延材料层提供电信号，所述电信号能够使得所述外延材料层发出光信号；光信号分析单元，用于获得所述光信号，对所述光信号进行分析，获得所述外延材料层的特性参数。本发明节约了衬底上的外延材料层的测试时间，提高了外延材料层的测试精度，从而提高了MOCVD设备的生产效率，也提高了外延材料层的发光强度、均匀度和良率等工艺参数。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 材料 特性 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种外延材料层的特性测试装置，用于对衬底上的外延材料层的特性参数进行测试，其特征在于，包括：探针单元，在测试时能够与所述外延材料层的表面形成导电接触，通过所述探针单元向所述外延材料层提供电信号，所述电信号能够使得所述外延材料层发出光信号；光信号分析单元，用于获得所述光信号，对所述光信号进行分析，获得所述外延材料层的特性参数。
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