[发明专利]多重气体感测器及其制作方法有效
| 申请号： | 201110193610.4 | 申请日： | 2011-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN102279209A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 刘文超;陈慧英;蔡宗翰;陈泰佑;张仲甫;许启祥 | 申请（专利权）人： | 刘文超 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 王一斌;王琦 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种多重气体感测器，包括：一基板、一磊晶层、一金属氧化物层、一第一金属层、一第二金属层及多个第三金属层。磊晶层成长于基板上，并且具有一第一磊晶结构及一第二磊晶结构，第一磊晶结构及第二磊晶结构之间具有一间隙。金属氧化物层成长于第一磊晶结构上；第一金属层成长于第二磊晶结构上，且第一金属层具有至少两种金属；第二金属层成长于第二磊晶结构上，并且第二金属层与第一金属层之间保持一段距离；以及，第三金属层成长于金属氧化物层、第一金属层及二金属层上。 | ||
| 搜索关键词： | 多重 气体 感测器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种多重气体感测器，包括：一基板；一磊晶层，成长于该基板上，该磊晶层具有一第一磊晶结构及一第二磊晶结构，该第一磊晶结构及该第二磊晶结构之间具有一间隙；一金属氧化物层，成长于该第一磊晶结构上；一第一金属层，成长于该第二磊晶结构上，且该第一金属层具有至少两种金属；一第二金属层，成长于该第二磊晶结构上，并且该第二金属层与该第一金属层之间保持一段距离；以及多个第三金属层，成长于该金属氧化物层、该第一金属层及该二金属层上。
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