[发明专利]一种多晶硅尾气处理方法无效
申请号: | 201110193681.4 | 申请日: | 2011-07-12 |
公开(公告)号: | CN102228771A | 公开(公告)日: | 2011-11-02 |
发明(设计)人: | 蒋国津;陈小祥;陈力 | 申请(专利权)人: | 江苏省振兴节水工程技术设备有限公司 |
主分类号: | B01D53/14 | 分类号: | B01D53/14;C01B33/12;C01B7/01 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 210029 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种多晶硅尾气处理方法,包括以下步骤:(1)利用吸收液将多晶硅尾气吸收;(2)降低吸收液中二氧化硅的活性,增大二氧化硅的颗粒直径;(3)分离吸收液中的二氧化硅,并对二氧化硅进行压榨、烘干、粉碎;(4)回收吸收液中的盐酸。这种处理方法可有效回收二氧化硅和盐酸,实现多晶硅尾气的资源化利用,大大降低污染。另一方面,在回收二氧化硅和盐酸的过程中,由于碱的用量非常少,因此回收成本非常低。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 尾气 处理 方法 | ||
【主权项】:
一种多晶硅尾气处理方法,包括以下步骤:(1)利用吸收液将多晶硅尾气吸收;(2)对吸收液进行老化或熟化处理,以降低吸收液中二氧化硅的活性,增大二氧化硅的颗粒直径;(3)分离吸收液中的二氧化硅,并对二氧化硅进行压榨、烘干、粉碎;(4)回收吸收液中的盐酸。
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