[发明专利]硅片清洗设备以及储液罐有效
| 申请号： | 201110193925.9 | 申请日： | 2011-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN102874513A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 王守志 | 申请（专利权）人： | 浚鑫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D90/48 | 分类号： | B65D90/48;H01L21/00;B08B3/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 214443 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种储液罐，包括主罐体和显液管，显液管一端开口，另一端与主罐体相连通，显液管与主罐体之间还设置有可全部或部分展开并将上述二者分隔开来的胶囊体。上述储液罐中在主罐体和显液管之间设置有可展开的胶囊体，胶囊体将主罐体和显液管分隔成两部分。当需要观察主罐体上化学药剂的高度时，在显液管的开口处注入测量液，当主罐体内化学药剂高度发生变化时，胶囊体展开或者闭合，显液管中的测量液高度随即发生变化。由于上述储液罐中主罐体和显液管可注入不同的液体，且显液管可注入易分辨、清洗的测量液，因此可以避免由于显液管和主罐体采用同一液体容易产生沾污物的现象发生。本发明实施例还提供了一种硅片清洗设备。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 设备 以及 储液罐 | ||
【主权项】：
一种储液罐，包括主罐体(21)和显液管(22)，所述显液管(22)一端开口，另一端与所述主罐体(21)相连通，其特征在于，所述显液管(22)与所述主罐体(21)之间还设置有可全部或部分展开并将上述二者分隔开来的胶囊体(26)。
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