[发明专利]一种平板集热条带镀膜方法无效
| 申请号： | 201110194364.4 | 申请日： | 2011-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN102268651A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 李云辉;李云松;华冬辉 | 申请（专利权）人： | 衡阳市真空机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 衡阳市科航专利事务所 43101 | 代理人： | 杨代祯 |
| 地址： | 421001 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种平板集热条带镀膜方法，采用卧式多室结构方案，卷材放卷后水平引入工艺段，完成真空状态下的刻蚀清洗，采用真空磁控溅射手段镀制超低发射比高选择性吸收功能薄膜，执行在线光学性能检测，最后收卷，从左至右由放卷室1、收卷室2和十个工艺段模块室三大部分串联成一条卷线镀膜线。本发明由于采用标准的模块式结构，可以根据工艺要求进行真空室功能拼装与增减，有利于满足不同工艺所需要求，各功能室也可作拼装调整，达到各功能室的气氛独立精确控制，确保镀膜质量，与现有技术相比，具有方法新颖、简单、实用性强，行进中纠偏精度高，安装维护方便，质量可靠等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平板 条带 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
一种平板集热条带镀膜方法，其特征是采用卧式多室结构方案，卷材放卷后水平引入工艺段，完成真空状态下的刻蚀清洗，采用真空磁控溅射手段镀制超低发射比高选择性吸收功能薄膜，执行在线光学性能检测，最后收卷，从左至右由放卷室、收卷室和若干工艺段模块室三大部分串联成一条卷线镀膜线。
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