[发明专利]可二维微调的微型电动平移台有效
| 申请号： | 201110195387.7 | 申请日： | 2011-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN102243357A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 吴文镜;李国光;艾迪格·基尼欧;马铁中;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 100029 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 公开了一种可二维微调的微型电动平移台包括基板（1）、导轨组件（2）、滑板组件（3）、驱动组件（4）；所述基板（1）与所述导轨组件（2）固定连接；所述驱动组件（4）与所述导轨组件（2）固定连接；所述滑板组件（3）串接于所述导轨组件（2）构成移动副；所述驱动组件（4）与所述滑板组件（3）配合连接构成旋转副。本发明体积小巧，运动链简洁，控制方式简单，可实现对微小型光学器件的单一位置精确平移定位以及多工位平移功能，同时可以对该光学器件进行二维的角度的手动微调，可应用于光学检测设备中的平面镜、分光镜等光学器件的平移，方便产品集成开发。 | ||
| 搜索关键词： | 二维 微调 微型 电动 平移 | ||
【主权项】：
一种可二维微调的微型电动平移台，其特征于，包括：基板（1）、导轨组件（2）、滑板组件（3）及驱动组件（4）；所述基板（1）与所述导轨组件（2）固定连接；所述驱动组件（4）与所述导轨组件（2）固定连接；所述滑板组件（3）串接于所述导轨组件（2）构成移动副；所述驱动组件（4）与所述滑板组件（3）配合连接构成旋转副。
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