[发明专利]一种熔盐法晶体生长用密闭单晶生长炉

摘要

熔盐法晶体生长用密闭单晶生长炉包括：绕有电阻丝的陶瓷套管式炉膛；位于炉膛外的密闭桶形空心双层不锈钢外炉壳；装于炉壳内与炉膛间的耐火保温砖/棉；穿过炉壳伸至炉膛外壁的热电偶；盖于炉膛上端口的耐火保温砖炉盖；炉盖中心和两侧设第一垂向中心通孔和观察孔；炉壳内装循环流动的冷却水；炉壳壁上设抽气和进气口；炉壳盖中心设与第一垂向中心通孔相对的第二垂向中心通孔和石英玻璃窗口；炉壳内充氛围气；磁流体设于炉壳上方，与炉壳用波纹管连接；籽晶杆穿过磁流体与万向结连接，通过万向结固定在晶转头上；可使晶体在气氛气下生长，减少杂质进入晶体，改善晶体光学性质，去除晶体在紫外光谱区产生的非本征吸收，提高晶体紫外激光输出功率。

主权项

一种熔盐法晶体生长用密闭单晶生长炉，其包括：陶瓷套管式炉膛(1)；环绕于所述陶瓷套管式炉膛(1)周围的作为加热源的电阻丝；位于所述陶瓷套管式炉膛(1)外围并将所述陶瓷套管式炉膛(1)包围其内的不锈钢外炉壳(3)；垫装于所述不锈钢外炉壳(3)内底部与所述陶瓷套管式炉膛(1)之间的保温砖；填装于所述不锈钢外炉壳(3)与所述陶瓷套管式炉膛(1)外壁之间的耐火保温棉；穿过所述不锈钢外炉壳(3)外壁伸至所述陶瓷套管式炉膛(1)外壁的热电偶(7)；盖于所述陶瓷套管式炉膛(1)上端口及耐火保温棉上端的耐火保温砖炉盖(2)；所述耐火保温砖炉盖(2)中间设有供籽晶杆穿入的第一垂向中心通孔；所述第一垂向中心通孔两侧分别设有晶体生长观察孔；其特征在于，所述的不锈钢外炉壳(3)为密闭桶形空心双层不锈钢外炉壳，所述密闭桶形空心双层不锈钢外炉壳的桶壁、桶底及桶盖内设有相连通的密闭流道；其密闭流道内装有循环流动的冷却水；所述的不锈钢外炉壳(3)的炉壁上设有通向所述不锈钢外炉壳(3)内腔的抽气口(4)和通向所述陶瓷套管式炉膛(1)之内的进气口(5)；所述抽气口(4)通过管道与真空机械泵相连；所述进气口(5)与氛围气气源相连通；所述的不锈钢外炉壳(3)的桶盖中心处设有与所述耐火保温砖炉盖(2)上的第一垂向中心通孔相对的第二垂向中心通孔；所述的不锈钢外炉壳(3)的桶盖的第二垂向中心通孔的两侧分别设有与所述晶体生长观察孔相对的石英玻璃窗口(8)；所述的不锈钢外炉壳(3)内充满氛围气气体；设于所述的不锈钢外炉壳(3)上方的磁流体(6)，所述磁流体(6)与所述的不锈钢外炉壳(3)的桶盖之间采用波纹管连接；籽晶杆下端依次穿过磁流体(6)、波纹管以及不锈钢外炉壳(3)的第二垂向中心通孔和保温砖炉盖(2)上的第一垂向中心通孔到达坩埚上方；籽晶杆上端穿过磁流体(6)与万向结连接，通过万向结固定在晶转头上。