[发明专利]基板检查装置及基板检查方法无效
| 申请号： | 201110196778.0 | 申请日： | 2011-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN102338753A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 冈平裕幸 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/89 | 分类号： | G01N21/89 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够准确地检查大型基板的基板检查装置及基板检查方法。本发明的基板检查装置(1)包括：输送台(131)，其以沿宽度方向彼此空有预定宽度的间隙的方式排列有形成基板输送面的多个浮板(132)，该基板输送面用于支承基板(W)；透过照明件(138)，其配置在比基板输送面靠下方的位置，并用于自相邻的浮板(132)之间对基板(W)进行照明；光学单元(16)，其能够在输送台(131)的上方相对于该输送台(131)水平移动；以及移动机构135a和135b，其用于使输送台(131)上的基板(W)沿宽度方向移动预定距离。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板检查装置，其特征在于，包括：台，其以沿宽度方向彼此空有预定宽度的间隙的方式排列有形成基板输送面的多个板，该基板输送面用于支承基板；面光源，其配置在比上述基板输送面靠下方的位置，并用于自相邻的上述板之间对上述基板进行照明；光学单元，其能够在上述台的上方相对于该台水平移动；以及基板移动部，其用于使上述台上的上述基板沿上述宽度方向移动预定距离。
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