[发明专利]具有浸润性可控的氧化锌单晶表面改性方法

摘要

具有浸润性可控的氧化锌单晶表面改性方法，属于氧化锌技术领域。包括以下步骤：(1)激光辐照疏水化：确定辐照位置，使激光能量密度为200-600mJ/cm2，频率3-5Hz；选取氧化锌单晶，尺寸小于光斑尺寸；氧化锌单晶置于光斑区域内，进行激光辐照，激光脉冲数至少为50个；(2)退火亲水化处理：将上述表面疏水化的氧化锌单晶清洁烘干后放入坩埚内，推入退火炉炉腔抽真空；向炉内冲入氧气0.5Mpa后关闭气阀；进行退火处理：先升温，升温速度100℃/小时，升温时间3-8小时；保温1小时；降到室温，降温速度100℃/小时。应用于智能微流体、可控药物输送，自清洁表面等领域，实现氧化锌的充分利用，节约资源。

主权项

具有浸润性可控的氧化锌单晶表面改性方法，其特征在于，通过高能量脉冲激光辐照，实现稳定的氧化锌疏水表面，退火使氧化锌单晶表面恢复到初始接触角；具体包括的激光辐照疏水化和退火亲水化两个步骤如下：(1)激光辐照疏水化1)确定辐照位置，计算光斑大小，得到能量密度，使激光能量密度最佳为200‑600mJ/cm2，激光频率3‑5Hz；2)选取氧化锌单晶样品，其尺寸小于光斑尺寸；3)将氧化锌单晶置于样品台上光斑区域内，对其表面进行激光辐照，达到疏水表面的激光脉冲数至少为50个，实现氧化锌单晶表面疏水化；(2)退火亲水化处理1)将上述激光辐照后的表面疏水化的氧化锌单晶清洁烘干后，放入坩埚内，推入退火炉炉腔抽真空；2)打开气阀向炉内冲入氧气0.5Mpa后关闭气阀；3)在退火炉上进行退火处理：先升温，升温速度100℃/小时，升温时间3‑8小时；然后保温1小时；最后降到室温，降温速度100℃/小时。