[发明专利]实现一次曝光的切趾装置及方法无效
申请号: | 201110200375.9 | 申请日: | 2011-07-18 |
公开(公告)号: | CN102221727A | 公开(公告)日: | 2011-10-19 |
发明(设计)人: | 何伟 | 申请(专利权)人: | 武汉理工大学 |
主分类号: | G02B6/124 | 分类号: | G02B6/124;H04B10/12 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 王守仁 |
地址: | 430071 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供了实现一次曝光的切趾光纤光栅制作装置,此装置是在原有常规相位掩模板光纤光栅制作装置的基础上,加了一块特殊设计制作的凹形柱面反射镜。利用此装置可以一次同时完成切趾光纤光栅制作的两种曝光,具体方法是:具有切趾分布的紫外光经过聚焦柱透镜聚焦,透过相位掩模板在光敏光纤上写光纤光栅;越过光纤光栅的紫外光入射到凹形柱面反射镜后,由凹形柱面反射镜将一部分紫外光反射回去,反射回去的紫外光在光纤光栅处重新聚焦,并形成反切趾分布对光纤光栅进行折射率直流整形曝光,完成切趾光纤光栅的制作。本方法可以避免移动相位掩膜板和更换光阑,提高切趾光纤光栅的制作效率。 | ||
搜索关键词: | 实现 一次 曝光 装置 方法 | ||
【主权项】:
实现一次曝光切趾装置,其特征是主要由紫外光(1)、聚焦柱透镜(3)、相位掩模板(4)、光敏光纤(5)和凹形柱面反射镜(10)组成,它们依次排列在紫外光路上。
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