[发明专利]重叠标记及其制备方法无效
| 申请号： | 201110201415.1 | 申请日： | 2011-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN102800652A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 邱垂福 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G03F9/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 冯志云;邢雪红 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种重叠标记和重叠标记制备方法，重叠标记制备方法包括以下步骤：形成一图案化层于一基板上，其中该图案化层包括至少一标记单元形成区域，每一标记单元形成区域包括二纵向凹部及多个横向凹部，所述多个横向凹部连接所述多个纵向凹部；由所述多个纵向凹部及所述多个横向凹部的侧壁成长一标记材料，使得该标记材料于所述多个纵向凹部及所述多个横向凹部中融合衔接；及移除该图案化层。借此，可制备本发明具有标记单元的重叠标记。 | ||
| 搜索关键词： | 重叠 标记 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种重叠标记(5)，位于一基板上，包括多个标记单元(54)，其特征在于，每一所述标记单元(54)包括二纵向元件(56)及多个横向元件(58)，所述多个横向元件(58)连接所述多个纵向元件(56)以形成多个孔洞(60)，所述多个孔洞(60)显露该二纵向元件(56)间的部分基板。
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