[发明专利]用于除去聚酰亚胺的清洗剂组合物无效
| 申请号： | 201110202425.7 | 申请日： | 2011-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN102314101A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 洪宪杓;尹嚆重;房淳洪;李承佣 | 申请（专利权）人： | 东友FINE-CHEM股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 | 代理人： | 郑立;高为华 |
| 地址： | 韩国全罗北道*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于除去聚酰亚胺的清洗剂组合物，包含：基于组合物的总量，0.1～10％wt％的由下列分子式1表示的氢氧化季铵；50～90wt％的乙二醇醚化合物；7～30wt％的丙三醇；和剩余的水。[N-(R)4]+·OH- -分子式1其中R是碳原子为1至5的烷基。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 除去 聚酰亚胺 洗剂 组合 | ||
【主权项】：
一种用于除去聚酰亚胺的清洗剂组合物，包含：基于所述组合物的总量，0.1～10wt％的氢氧化季铵，所述氢氧化季铵由下列分子式1表示；50～90wt％的乙二醇醚化合物；7～30wt％的丙三醇；和剩余的水；[N‑(R)4]+·OH‑ ‑‑‑‑分子式1其中R是碳原子为1至5中的烷基。
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