[发明专利]热阴极离子源系统有效
| 申请号： | 201110202481.0 | 申请日： | 2011-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN102891060A | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 钱锋;陈炯;洪俊华 | 申请（专利权）人： | 上海凯世通半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 薛琦;王婧荷 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热阴极离子源系统，其包括多个电极以及分别与该多个电极相应的多个馈通，每个馈通均包括一导通至相应的电极的第一导体，该多个电极之间采用绝缘材料相互固接。本发明的该热阴极离子源系统不但结构简单可靠，而且拆装极其便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 热阴极 离子源 系统 | ||
【主权项】：
一种热阴极离子源系统，其包括多个电极以及分别与该多个电极相应的多个馈通，每个馈通均包括一导通至相应的电极的第一导体，其特征在于，该多个电极之间采用绝缘材料相互固接。
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