[发明专利]一种钌酸锶靶的制备方法

摘要

本发明涉及一种钌酸锶靶的制备方法，采用低温预烧-高温加压烧结两步法制备出高致密度的SRO(SrRuO3)陶瓷靶，可达理论密度的86-88％。本方法制备的SRO陶瓷靶可应用于溅射、分子束外延法、脉冲激光沉积等工艺中获得SRO薄膜。本方法制备SRO陶瓷靶的特点为：1)在原料压片预烧时采用比较低的温度和较短的时间，使得制备的前驱物结晶性较弱、活性高、晶粒小；2)预置片材在排胶和应力释放后直接同位升温并加压进行高温热压烧结，有利于得到致密且成型好的靶材。

主权项

一种钌酸锶陶瓷靶的制备方法，其特征在于采用低温预烧‑高温加压烧结两步法制备出SRO陶瓷靶，具体制备步骤为：(1)将SrCO3、Ru源按摩尔比0.95‑1.06∶1配制成SrRuO3比例混合，研磨混合均匀并压片；(2)压片后的原料在550‑950℃下预烧2‑24h，取出研磨至粉体；按SrRuO3质量百分比为1‑10％的比例加入粘结剂后再次研磨并至均匀混合。(3)将混匀后的粉末压成预置圆片或者方片；(4)将压制得到的预置片材放入热压模套中，并用填料进行填埋；(5)将热压模套转移至热压炉内，温度升至400‑600℃并保温1‑5h；接着温度升至800‑1050℃并保温1‑15h；保温结束后再将温度升至1200‑1600℃，同时在升温过程中逐渐对预置圆片或方片加压至100‑200MPa；之后保温保压2‑24h；(6)结束后取出SRO片材，清除表面填料后得到SRO靶材，所述的SRO为钌酸锶的英文缩写。