[发明专利]脆性材料的倒角方法及其装置无效

专利信息
申请号: 201110204884.9 申请日: 2011-07-21
公开(公告)号: CN102343631A 公开(公告)日: 2012-02-08
发明(设计)人: 小关良治 申请(专利权)人: 澁谷工业株式会社
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00;B23K26/00;B23K26/04;H01L21/304
代理公司: 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 代理人: 陈英俊
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及脆性材料的倒角方法及其装置,该倒角装置(1)包含:倒角单元(5),将板状脆性材料(2)的端面(2A)予以倒角;移动单元(6),使倒角单元(5)移动。将正方形的脆性材料(2)搬入吸附台(3)上时,壳体(7)通过移动单元(6)而前进,且脆性材料(2)的端面(2A)插入到其收容部(7B)。在该状态下,由于将负压导入负压室(7A)并且将电压施加于电极(11A、11B),所以在其间产生辉光放电,使端面(2A)被加热。在该状态下,由于壳体(7)沿着端面(2A)的长度方向移动,所以端面(2A)的上边缘部(2C)、下边缘部(2E)的全区域被熔化而倒角。本发明能提供构成比以往更简约的倒角装置(1)。
搜索关键词: 脆性 材料 倒角 方法 及其 装置
【主权项】:
一种脆性材料的倒角方法,对板状脆性材料的端面利用辉光放电产生的热进行加热,使脆性材料的端面的边缘部被加热、熔化而予以倒角,其特征为:在利用壳体包覆作为倒角对象的脆性材料的端面的状态下,使壳体内处于负压并向该壳体内的一对电极施加电压,以在该电极间产生辉光放电而对位于壳体内的脆性材料的端面进行加热,使所述电极与脆性材料沿着所述脆性材料的端面的长度方向进行相对移动,从而加热、熔化该脆性材料端面的边缘部而予以倒角。
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